3단계
| 저비용 소형 UV 리소그래피 시스템 개발 |
| 차년도 | 2차년도 | 세부 | 2세부 |
| 학술대회명 | 2025 마이크로나노시스템학회 추계 학술대회 | 발표년월일 | 20251120 |
| 학술대회 구분 | 국내 | 개최국 | 대한민국 |
| 총 저자수 | 6 | 기여도 | 20 |
| 논문저자명 | 김기헌, 김유중, 김태우, 원지성, 하동재, 김현수 | ||
| PDF 파일 | 
학회증빙8.pdf
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DATE : 2025-11-29 11:17:18
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